发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH0291942(A) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880245509 申请日期 1988.09.29
申请人 SONY CORP 发明人 NISHIHARA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址