发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING ORGANIC MEMBRANE
摘要
申请公布号 JPH02203954(A) 申请公布日期 1990.08.13
申请号 JP19890022563 申请日期 1989.02.02
申请人 CANON INC 发明人 MATSUDA HIROSHI;KURIHARA SUOMI;KAWADA HARUNORI
分类号 B05C3/02;B01J19/00;B05D1/20;H01L21/368;H01L51/05;H01L51/40 主分类号 B05C3/02
代理机构 代理人
主权项
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