DRY ETCHING APPARATUS,申请号JP19890240134-传众专利搜索

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发明名称	DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH03102824(A)	申请公布日期	1991.04.30
申请号	JP19890240134	申请日期	1989.09.18
申请人	FUJITSU LTD	发明人	ISHIYAMA HIRONORI
分类号	H01L21/302;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
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