MIT Passivation Method of Metal-Insulator TransitionMIT Thin Film

摘要

광반응성 폴리머를 사용하여 한 번의 패턴 형성 작업만으로 패턴이 형성된 패시베이션 박막을 형성함으로써 공정의 단순화를 통한 생산성을 향상시킬 수 있으며, 종래의 패시베이션 공정중 증착 과정 및 건식 식각 과정에서 발생할 수 있는 MIT 소자의 특성 저하를 방지하기 위한 MIT 소자의 패시베이션 방법을 제공한다.