发明名称 |
静态随机存取存储器 |
摘要 |
本发明公开一种静态随机存取存储器,包含多个静态随机存取存储器单元设于一基底上,其中各静态随机存取存储器单元包含:一栅极结构设于基底上;一第一层间介电层环绕栅极结构;一接触插塞设于第一层间介电层中;一第二层间介电层设于第一层间介电层上;以及一第二接触插塞设于第二层间介电层中并电连接第一接触插塞。 |
申请公布号 |
CN106206586A |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201510216456.6 |
申请日期 |
2015.04.30 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 |
发明人 |
许智凯;林昭宏;洪裕祥;傅思逸;郑志祥 |
分类号 |
H01L27/11(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/11(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陈小雯 |
主权项 |
一种静态随机存取存储器,包含:多个静态随机存取存储器单元,设于一基底上,其中各该静态随机存取存储器单元包含:栅极结构,设于该基底上;第一层间介电层,环绕该栅极结构;第一接触插塞,设于该第一层间介电层中;第二层间介电层,设于该第一层间介电层上;以及第二接触插塞,设于该第二层间介电层中并电连接该第一接触插塞。 |
地址 |
中国台湾新竹市新竹科学工业园区 |