| 摘要 |
【課題】本発明は、基板に加工を行う場合、加工時間を短縮することを目的とする。【解決手段】レーザ発振器から出力されたレーザパルスを加工方向と非加工方向に分岐させる音響光学変調器を有するレーザ加工装置において、前記音響光学変調器の分岐動作を制御する分岐動作制御信号を出力する音響光学変調器制御部を備え、当該音響光学変調器制御部は前記レーザパルスの減衰開始前の第一の特定期間と当該レーザパルスの減衰開始後の第二の特定期間で前記レーザパルスを前記加工方向に分岐させる分岐動作制御信号を出力することを特徴とする。【選択図】図１ |
