| 摘要 |
【課題】紫外発光素子の結晶品質、平坦性、凹凸埋め込み性を向上させること。【解決手段】紫外発光素子は、凹凸加工が施された基板１０を有し、基板１０上にスパッタにより形成されたＡｌＮからなるバッファ層１１、アンドープのＡｌＧａＮからなるアンドープ層１２、ｎ型ＡｌＧａＮからなるｎ層１３、発光層１４、ｐ型ＡｌＧａＮからなる電子ブロック層１５、ｐ型ＡｌＧａＮからなるｐコンタクト層１６が順に積層された構造を有している。そして、Ａｌ組成比が小さい順に、アンドープ層１２、ｎ層１３、ｐコンタクト層１６、電子ブロック層１５である。これにより素子全体としてＡｌ組成比が低減されている。その結果、結晶品質や平坦性、基板１０の凹凸の埋め込み性が向上している。【選択図】図１ |
