一种利用雾化法对扩散源进行涂布的装置

摘要

本实用新型提供了一种利用雾化法对扩散源进行涂布的装置。其结构包括溶液杯、雾化器、雾化气体导管和雾化气体缓冲器；所述溶液杯置于所述雾化器内，所述溶液杯用于盛放扩散源溶液，所述雾化器可将溶液杯内的扩散源溶液进行雾化；所述雾化气体导管连接所述雾化器和所述雾化气体缓冲器，扩散源溶液被雾化后所形成的雾化气体可沿雾化气体导管进入雾化气体缓冲器内。雾化气体缓冲器能够缓和雾化气体的喷出速度，因此通过雾化气体缓冲器后的雾化气体再涂布于硅片上，能够保证涂布的均匀性，从而解决了现有喷涂均匀性差的问题，还解决了传统管式扩散工艺复杂、连续性差的问题。

主权项

一种利用雾化法对扩散源进行涂布的装置，其特征是，包括溶液杯、雾化器、雾化气体导管和雾化气体缓冲器；所述溶液杯置于所述雾化器内，所述溶液杯用于盛放扩散源溶液，所述雾化器可将溶液杯内的扩散源溶液进行雾化；所述雾化气体导管连接所述雾化器和所述雾化气体缓冲器，扩散源溶液被雾化后所形成的雾化气体可沿雾化气体导管进入雾化气体缓冲器内，由雾化气体缓冲器出来的雾化气体可涂布在硅片上。