发明名称 |
垂直型基板剥离装置 |
摘要 |
本发明涉及印刷电路板(PCB)的制造工序中在进行曝光后用药液清除固化部分的剥离技术,所提供的垂直型基板剥离装置相关技术因在剥离室内部以垂直状态移送基板的过程中将药液喷射于基板来执行剥离工序,可以在进行连续性的剥离作业的同时缩短剥离工序所消耗的时间,并以垂直状态移送基板的同时通过喷射药液来进行剥离,从而能进一步提高工序生产率,本发明的实施例的主要构成包括:由封闭形态的剥离室和在所述剥离室内部以垂直状态移送基板的搬运装置、在所述剥离室给垂直移送的基板均匀喷射药液的喷射装置、搜集在所述剥离室的内部空间给基板喷射的药液,将药液泵送到喷射装置的泵送装置。 |
申请公布号 |
CN104125718B |
申请公布日期 |
2017.05.03 |
申请号 |
CN201310300816.1 |
申请日期 |
2013.07.17 |
申请人 |
昌晟株式会社 |
发明人 |
郑赞洙 |
分类号 |
H05K3/06(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I |
主分类号 |
H05K3/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
谢顺星;张晶 |
主权项 |
一种垂直型基板剥离装置,其特征在于,包括:四角架式封闭形态的剥离室(10),在剥离室(10)内以垂直状态移送基板(P)的搬运装置(20),给所述剥离室(10)内以垂直状态移送的基板(P)上均匀喷射药液的喷射装置(30),搜集在所述剥离室(10)内部给基板(P)喷射的药液、将药液泵送到喷射装置(30)的泵送装置(40);所述喷射装置(30)由采用四角架形状、在两侧组成的一对框架(31),以一定间隔安装于所述框架(31)上、并装有多个喷嘴(33)的喷射管(32),以上下垂直方式安装在所述框架(31)两侧的导轨(34),安装在所述框架(31)两侧并可进行转动、沿着导轨(34)动作的导轮(35),在所述框架(31)的上方和驱动轴(37)结合起来、上下启动驱动轴(37)来上下移动框架(31)的驱动部(36)组成;所述导轨(34)在所述框架(31)的两侧以垂直于上下支架的状态安装,安装时和所述框架(31)的两侧隔出一定距离,所述导轮(35)安装在所述框架(31)两侧的上下侧,内置可以进行转动动作的轴承,沿着以垂直状态设置在所述框架(31)两侧的所述导轨(34)上下驱动。 |
地址 |
韩国忠清南道 |