OLED显示装置及其制作方法

摘要

本发明提供一种OLED显示装置及其制作方法，通过在红、绿、蓝色OLED器件的阳极层中分别设置第一、第二、第三透明半导体层，并且将所述第一、第二、第三透明半导体层设置为不同的厚度来实现红、绿、蓝色OLED器件的发光效率分别达到最佳，所述第一、第二、第三透明半导体层通过利用三道掩膜板进行等离子体增强化学气相沉积的方法沉积形成，与传统的OLED显示装置相比，本发明中分别设置于红、绿、蓝色OLED器件中的空穴传输层的厚度相等，可以采用一道普通金属掩膜板在同一道蒸镀制程中形成，由于利用FMM沉积无机膜的技术相对于沉积有机膜的技术更成熟且有更高的良率，所以从总体来讲，本发明的技术方案具有明显的制程优势。

主权项

一种OLED显示装置，其特征在于，包括基板(100)、以及数个阵列排布于所述基板(100)上的红色OLED器件(210)、绿色OLED器件(220)及蓝色OLED器件(230)；所述红色OLED器件(210)、绿色OLED器件(220)及蓝色OLED器件(230)均包括在所述基板(100)上从下到上依次设置的第一透明导电金属氧化物层(201)、金属层(202)、透明半导体层(203)、第二透明导电金属氧化物层(204)、空穴注入层(205)、空穴传输层(206)、发光层(207)、电子传输层(208)及阴极层(209)；所述红色OLED器件(210)、绿色OLED器件(220)及蓝色OLED器件(230)的透明半导体层(203)分别为第一透明半导体层(213)、第二透明半导体层(223)及第三透明半导体层(233)；所述红色OLED器件(210)、绿色OLED器件(220)及蓝色OLED器件(230)的发光层(207)分别为红色发光层(217)、绿色发光层(227)及蓝色发光层(237)；所述第一、第二、第三透明半导体层(213、223、233)的材料相同，且折射率为η_P；所述第二透明导电金属氧化物层(204)的折射率为η_I；所述空穴注入层(205)的折射率为η_J；所述空穴传输层(206)的折射率为η_T；所述红色发光层(217)发出的红光的峰值波长为λ_R，所述绿色发光层(227)发出的绿光的峰值波长为λ_G，所述蓝色发光层(237)发出的蓝光的峰值波长为λ_B；所述第一、第二、第三透明半导体层(213、223、233)的厚度分别定义为d_RP、d_GP、d_BP，所述第二透明导电金属氧化物层(204)的厚度定义为d_I，所述空穴注入层(205)的厚度定义为d_J，所述空穴传输层(206)的厚度定义为d_T；那么，所述d_RP、d_I、d_J、d_T之间的关系满足关系式(1)：η_P×d_RP+η_I×d_I+η_J×d_J+η_T×d_T＝(2m_R+1)λ_R/4   (1)；其中，m_R为自然数；所述d_GP、d_I、d_J、d_T之间的关系满足关系式(2)：η_P×d_GP+η_I×d_I+η_J×d_J+η_T×d_T＝(2m_G+1)λ_G/4   (2)；其中，m_G为自然数；所述d_BP、d_I、d_J、d_T之间的关系满足关系式(3)：η_P×d_BP+η_I×d_I+η_J×d_J+η_T×d_T＝(2m_B+1)λ_B/4   (3)；其中，m_B为自然数。