| 发明名称 | 磁性隧道结器件及其形成方法 | ||
| 摘要 | 一种方法包括图案化金属层以形成多个底电极部件，通过视线沉积工艺形成磁性隧道结(MTJ)堆叠件使得在底电极部件上形成MTJ堆叠件的第一部分，并且在与底电极部件的顶面不同的水平上形成MTJ堆叠件的第二部分，以及实施去除工艺以去除MTJ堆叠件的第二部分而留下基本完整的MTJ堆叠件的第一部分。本发明的实施例还涉及磁性隧道结器件及其形成方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106601904A | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201610648445.X | 申请日期 | 2016.08.09 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 卡洛斯·H·迪亚兹;庄学理;李汝谅 |
| 分类号 | H01L43/08(2006.01)I;H01L43/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L43/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;李伟 |
| 主权项 | 一种形成磁性隧道结器件的方法，包括：图案化金属层以形成多个底电极部件；通过视线沉积工艺形成磁性隧道结(MTJ)堆叠件，使得在所述底电极部件上形成所述磁性隧道结堆叠件的第一部分，并且在与所述底电极部件的顶面不同的水平上形成所述磁性隧道结堆叠件的第二部分；以及实施去除工艺以去除所述磁性隧道结堆叠件的所述第二部分而留下基本完整的所述磁性隧道结堆叠件的所述第一部分。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||