一种直线光栅尺

摘要

本发明旨在提供一种便于制作、成本低且测量精度高的直线光栅尺。本发明包括主尺组件和移动读数部件，在所述主尺组件上设置有玻璃光栅尺，在所述玻璃光栅尺上设置有增量码道和绝对码道，在所述增量码道上设置有等间距的增量光栅线纹，所述移动读数部件内设置有玻璃指示光栅，所述移动读数部件设置在所述主尺组件的一侧并可沿主尺组件的长度方向来回移动，在所述绝对码道和所述玻璃指示光栅上均间隔设置有若干组基准标记，每组所述基准标记均对应唯一的距离码，所述扫描单元根据所述绝对码道上的所述基准标记生成基准信号，基准信号参照所述绝对码道相对所述增量码道具有定义的位置和宽度，得到所述增量码道的位置。本发明可应用于测量领域。

主权项

一种直线光栅尺，包括主尺组件和移动读数部件，在所述主尺组件上设置有玻璃光栅尺，在所述玻璃光栅尺上设置有增量码道（1）和绝对码道（2），在所述增量码道（1）上设置有等间距的增量光栅线纹（3），所述移动读数部件内设置有扫描单元，所述扫描单元包括玻璃指示光栅，所述移动读数部件设置在所述主尺组件的一侧并可沿主尺组件的长度方向来回移动，其特征在于：在所述绝对码道（2）和所述玻璃指示光栅上均间隔设置有若干组基准标记（4），每组所述基准标记（4）均对应唯一的距离码，所述扫描单元扫描所述玻璃光栅尺，根据所述绝对码道（2）上的所述基准标记（4）生成基准信号，基准信号参照所述绝对码道相对所述增量码道（1）具有定义的位置和宽度，得到所述增量码道（1）的位置；所述基准标记（4）为设置在所述绝对码道（2）和所述玻璃指示光栅上的光栅线纹，所述光栅线纹为由数字编码的非周期性光栅线纹；所述基准标记（4）由数字编码3 3 1 3 1 2 1 5 1 5 1 7 1 6 4 1 1 转换成46位二进制编码1110001000100100000100000100000001000000111101，再转换成非周期性光栅线纹而成，其中二进制编码1表示透光，0表示不透光；在所述绝对码道（2）和所述玻璃指示光栅上，所述基准标记（4）以外的区域设置有不透明掩膜层（5）；所述扫描单元还包括光源和直流光探测器元件，所述直流光探测器元件在所述扫描单元扫描所述玻璃光栅尺，所述光源发出的光衍射并第一次获得所述绝对码道（2）上的所述基准标记（4）时，产生一个补偿信号，所述补偿信号向所述基准信号提供一个脉冲信号。