| 发明名称 | 用于处理用于基板的输送和大气储存的由塑料材料制成的运输容器的方法和工作站 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于处理用于基板的输送和大气储存的塑料运输容器的方法，塑料运输容器具有界定出意图用于储存基板的体积的壁，其特征在于，此方法包括至少一个等离子体处理步骤(103；105)，在等离子体处理步骤中，运输盒(3)的至少一个内壁在低于10000帕斯卡的气体压力下经受处理气体的等离子体。本发明也涉及一种用于处理用于基板的输送和大气储存的运输容器的工作站。 | ||
| 申请公布号 | CN106573277A | 申请公布日期 | 2017.04.19 |
| 申请号 | CN201580040238.X | 申请日期 | 2015.07.03 |
| 申请人 | 普发真空公司 | 发明人 | J·帕里森;C·勒古特 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I;B08B9/08(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 林柏楠;刘金辉 |
| 主权项 | 一种用于处理用于基板的输送和大气储存的塑料运输盒的方法，此塑料运输盒具有界定出意图用于储存基板的体积的壁，其特征在于此方法包括至少一个等离子体处理步骤(103；105)，在等离子体处理步骤中，运输盒(3)的至少一个内壁在低于10000帕斯卡的气体压力下经受处理气体的等离子体。 | ||
| 地址 | 法国安纳西 | ||