一种含有空气隙的互连结构的制造方法

摘要

本发明公开了一种含有空气隙的互连结构的制造方法，包括在衬底上形成第一牺牲层；在第一牺牲层中形成金属互连线；沉积并刻蚀第二牺牲层，形成上窄下宽的尖峰状结构，且尖峰状结构与第一牺牲层的牺牲介质相连；沉积第一介质层并去除第二牺牲层上表面的第一介质层，使尖峰状结构的顶部形成释放开口；去除第一牺牲层与第二牺牲层的牺牲介质；沉积第二介质层以形成空气隙。本发明能够保证空气隙封口的完整性，且具有较大的工艺窗口。

主权项

一种含有空气隙的互连结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：在衬底上形成第一牺牲层；在所述第一牺牲层中形成金属互连线；在所述第一牺牲层上沉积第二牺牲层；刻蚀所述第二牺牲层，使所述第二牺牲层的牺牲介质形成上窄下宽的尖峰状结构，其中，所述尖峰状结构与所述第一牺牲层的牺牲介质相连；沉积第一介质层并去除所述第二牺牲层上表面的所述第一介质层，使所述尖峰状结构的顶部形成释放开口；去除所述第一牺牲层与所述第二牺牲层的牺牲介质；沉积第二介质层以形成空气隙。