氧化物材料及半导体器件

摘要

目的在于提供一种适用于被包括于晶体管或二极管等中的半导体的材料。另一个目的在于提供一种包括晶体管的半导体器件，其中介于氧化物半导体膜及与该氧化物半导体膜接触的栅极绝缘膜之间的界面处的电子态状况良好。再者，另一个目的在于通过对将氧化物半导体膜用于沟道的晶体管提供稳定电特性，制造高可靠性的半导体器件。半导体器件使用包括c‑轴取向的晶体的氧化物材料形成，当从表面或界面方向看时该晶体具有三角形或六角形原子排列，并绕着c‑轴旋转。

主权项

一种半导体器件，包括：栅电极；与所述栅电极接触的栅极绝缘膜；以及与所述栅极绝缘膜接触的氧化物半导体膜，所述氧化物半导体膜包括氧化物材料，其中，所述氧化物材料包含元素，所述元素包括具有五个配体的原子和具有六个配体的原子，所述氧化物半导体膜通过溅射法形成，所述氧化物材料包括c‑轴取向的多个晶体，所述多个晶体的c‑轴以垂直于所述氧化物半导体膜的表面的方向取向，所述多个晶体各自包含排列成从垂直于a‑b平面的方向看时具有三角形或六角形形状的原子，并且，在所述a‑b平面中，所述多个晶体的第一晶体的a‑轴方向及b‑轴方向之一与所述多个晶体的第二晶体的a‑轴方向及b‑轴方向之一不同。