一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型涉及一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极构成的平板电容器结构；所述振膜包括悬空在背腔上方的主体部，以及位于主体部边缘并与所述主体部一体成型的连接部，在所述连接部的下方设置有补强部，且所述主体部的上端面与所述补强部的上端面齐平，所述主体部的下端面与所述补强部的下端面齐平。本实用新型的MEMS麦克风，在所述振膜的连接部位置形成了对连接部进行结构补强的补强部，从而提高了振膜连接部位的机械强度，避免了撕裂问题的发生，提高了麦克风机械跌落时的可靠性。

主权项

一种MEMS麦克风，其特征在于：包括具有背腔的衬底(7)，在所述衬底(7)上设置有由振膜和背极(5)构成的平板电容器结构；所述振膜包括悬空在背腔上方的主体部(1)，以及位于主体部(1)边缘并与所述主体部(1)一体成型的连接部(2)，在所述连接部(2)的下方设置有补强部(3)，所述连接部(2)沉积在补强部(3)的上方，且所述主体部(1)的上端面与所述补强部(3)的上端面齐平，所述主体部(1)的下端面与所述补强部(3)的下端面齐平。