自清洁光学系统

摘要

一种用于向处理区域透射光和/或从处理区域反射光的自清洁光学系统，包括液池和透射或反射光学部件，该光学部件可绕非竖直轴线持续转动，从而其下部持续转动穿过液池。当所述光学部件从液池中出来时，在该光学部件上会残留液体覆层，该液体覆层在所述光学部件的至少一部分处形成基本均匀的薄膜，光透过该薄膜，或者从该薄膜反射。

主权项

一种包括自清洁光学系统和具有处理区域的室的系统，自清洁光学系统用于向所述处理区域透射光(22)和/或从所述处理区域反射光(22)，该自清洁光学系统包括容纳液体的池子(16)、透射或反射光学部件(10)和操作连接于所述光学部件、用于绕非竖直轴线(14)持续转动所述光学部件(10)的装置，在使用中，所述光学部件的下部持续转动穿过容纳于所述池子中的液体，从而当所述光学部件从池子中出来时，在该光学部件上会残留液体覆层(20)，该液体覆层在所述光学部件的至少一部分(Q2)处形成基本均匀的透明薄膜，光透过该透明薄膜，或者从所述光学部件的至少一部分被向回反射而穿过该透明薄膜。