发明名称 |
基板烘烤装置及其温度调节方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基板烘烤装置及其温度调节方法,该基板烘烤装置包括:用于对基板进行烘烤的烘烤设备本体,其包括由若干个分区热板构成的热板,和温度调整机构,用于调整烘烤设备本体的各分区热板的加热温度。所述热板上设有导热层,所述导热层覆盖各分区热板。该基板烘烤装置能提高基板的膜厚均匀性。 |
申请公布号 |
CN103760753B |
申请公布日期 |
2017.04.12 |
申请号 |
CN201310752239.X |
申请日期 |
2013.12.31 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
姚江波 |
分类号 |
G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/38(2006.01)I |
代理机构 |
北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 |
代理人 |
吴大建;刘华联 |
主权项 |
一种基板烘烤装置,其特征在于,包括:用于对基板进行烘烤的烘烤设备本体,其包括由若干个分区热板构成的热板,和温度调整机构,用于调整烘烤设备本体的各分区热板的加热温度,其中,所述温度调整机构包括:膜厚监测单元,用于检测分区热板对应的基板各区域的膜厚;数据存储计算单元,与膜厚监测单元连接,接收膜厚监测单元传送的膜厚数据,并计算出各分区热板应调整的温度值;以及温度调节单元,与接收数据存储计算单元及烘烤设备本体连接,其接收数据存储计算单元传送的数据,并相应调整各分区热板的温度。 |
地址 |
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |