吸附装置及真空蒸镀系统

摘要

本实用新型提供一种吸附装置及真空蒸镀系统，其包括：多个条形电磁体，纵横排列形成网格状；供电机构，用于选择性地向多个条形电磁体中，位置与各个条状板一一对应的条形电磁体通电。本实用新型提供的吸附装置，其不仅可以避免刮伤掩膜版和基板，而且还可以选择性地吸附相应位置的条状板，从而使掩膜版形成的遮挡区域可以适应不同尺寸的基板，提高了灵活性。

主权项

一种吸附装置，用于吸附掩膜版，所述掩膜版包括间隔排列的多个条状板，其特征在于，所述吸附装置包括：多个条形电磁体，纵横排列形成网格状；供电机构，用于选择性地向所述多个条形电磁体中，位置与所述各个条状板一一对应的条形电磁体通电。