集成MOS场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法

摘要

本发明公开了一种集成MOS场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，包括：步骤一、提供一绝缘衬套，其内设置有矩形凹腔，在所述凹腔的底部配置第一导电型的衬底；步骤二、在所述衬底的上端配置第一导电型的外延层；步骤三、在所述外延层的上部配置四个第二导电型的体区，四个所述体区设置有两组漏极和源极，每组漏极和源极之间设置有栅极；步骤四、形成四个独立的MOS场效应管；步骤五、将电池板底部与所述衬套底部连接；步骤六、将电池板与漏极和源极连接。本发明解决了太阳能电池板交直流电能转换不便的技术问题。

主权项

一种集成MOS场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、提供一绝缘衬套，其内设置有矩形凹腔，在所述凹腔的底部配置第一导电型的衬底；步骤二、在所述衬底的上端配置第一导电型的外延层，所述外延层的上端与所述凹腔的上端齐平；步骤三、在所述外延层的上部配置四个第二导电型的体区，四个所述体区设置有两组漏极和源极，每组漏极和源极之间设置有栅极；步骤四、在所述衬底和外延层上的宽度方向开设有第一绝缘沟道，同时在所述衬底和外延层上的长度方向开设有第二绝缘沟道，形成四个独立的MOS场效应管，所述第一、第二绝缘沟道的深度与所述凹腔的深度一致；步骤五、将电池板底部与所述衬套底部连接；步骤六、将所述电池板的上电极分别与第一和第三个场效应管的漏极连接，第一个场效应管的源极与第二个场效应管的漏极连接，第三个场效应管的源极与第四个场效应管的漏极连接，第二和第四个场效应管的源极分别与所述电池板的下电极连接。