用于制造薄膜电池的方法与混合型工厂

摘要

本文描述用于制造薄膜电池的方法与混合型工厂。方法包括用于制造薄膜电池的操作。混合型工厂包括用于制造薄膜电池的一个或多个工具组。在实例中，用于制造锂基薄膜电池的混合工厂架构包括用于沉积有源层的处理工具。处理工具包括用于沉积有源层的群集工具。混合工厂架构还包括用于沉积有源层的内嵌工具和锂蒸镀工具，所述锂蒸镀工具具有将锂蒸镀工具耦接至群集工具和内嵌工具的一个或多个手套箱。

主权项

一种用于制造锂基薄膜电池的混合型工厂架构，所述工厂架构包含：处理工具，用于沉积有源层，所述处理工具包含：群集工具，用于沉积有源层；内嵌工具，用于沉积有源层；和锂蒸镀工具，所述锂蒸镀工具包含一个或多个手套箱，所述一个或多个手套箱将所述锂蒸镀工具耦接至所述群集工具和所述内嵌工具。