Druckmittler mit evakuierter Doppelmembran und Vakuumüberwachung

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf einen Druckmessaufbau mit einem Messgerät, wobei eine Druckübertragung von einer zu überwachenden Prozess-Seite über eine Anordnung zweier Membranen mit einem dazwischen angeordneten evakuierten Zwischenraum zu dem Messgerät verlässlich getrennt von der Prozess-Seite erfolgt, und wobei die Dauerfestigkeit des Druckmessaufbaus unter extremen Einsatzbedingungen verbessert ist.