静电吸盘用片状加热器

摘要

1．本外观设计产品的名称：静电吸盘用片状加热器。2．本外观设计产品的用途：本产品为一种片状加热器，其用于在半导体制造装置中将半导体晶圆等被加工物固定的静电吸盘上。3．本外观设计产品的设计要点：如各设计主视图及A部放大图所示形状最能体现本外观设计产品的设计要点。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1主视图。5．省略视图：各设计中的左视图与右视图相同，仰视图与俯视图相同，省略各设计的左视图和仰视图。6．指定基本设计：设计1。