| 摘要 |
ショットピーニング処理や熱処理、窒化処理などの表面処理を施した処理材の表面処理状態を、温度変化などの検査環境の影響を小さくして精度よく検査することができるとともにインラインの測定に適用できる表面特性検査装置及び表面特性検査方法を提供する。表面特性検査装置１は、交流電源１０、交流ブリッジ回路２０及び評価装置３０を備え、交流ブリッジ回路２０は、分配比γが可変な可変抵抗２１、基準検出器２２及び検査検出器２３により構成されている。検査検出器２３は、被検体Ｍの表面特性検査領域に対向するように巻回されたコイル２３ｂを備えており、交流電源１０からの交流電力をコイル２３ｂに供給することにより被検体Ｍに渦電流を励起する。基準検出器２２には被検体Ｍと同一構造の基準検体Ｓを配置し、検査環境の影響をキャンセルする。 |
