一种低温制造具纳米碳管之电子装置及其制备方法

摘要

本发明公开了种低温制造具纳米碳管之电子装置，具有基材，所述基材的表面具有催化合金层，提供一基材；在所述基材上涂布一光阻；对该光阻进行曝光及显影，以露出部分该基材，于该光阻表面及露出之该基材表面沉积一催化合金层；去除该光阻和其表面之该催化合金层，并且保留该基材和其表面之该催化合金层；在温度450℃下催化合金层表面合成数纳米碳管，本发明的纳米碳管的制备方法其结构优良，降低了生产成本，提高了生产效率。

主权项

一种低温制造具纳米碳管之电子装置，其特征在于：具有基材(1)，所述基材(1)的表面具有催化合金层(2)。