一种姿态测量装置

摘要

本发明的目的在于提供一种测量传感装置，利用柔性铰链的并联机构实现微小六自由度位移的一级放大和角度转化，再利用光杠杆原理实现被测物体位移的二级放大，将纳米级微小六自由度微位移放大为位置探测器可以测量的μm级位移，从而用低成本的测量方案实现了六自由度微位移高精度测量，具有低成本、高精度、便于集成的优点。

主权项

一种姿态测量装置，其特征在于，包括位移放大系统、光杠杆位移测量系统，其中所述位移放大系统包括静平台、动平台以及位于所述动平台和所述静平台之间的柔性铰链支撑腿，所述柔性铰链支撑腿包括可转动安装在所述动平台上的动支腿以及可转动安装在所述静平台上的静支腿，所述光杠杆位移测量系统包括激光器、固定在所述动支腿上的上反射镜、固定在所述静支腿上的下反射镜以及安装在所述静平台上的位置探测器，所述上反射镜的镜面和所述下反射镜的镜面相对设置，由所述激光器发射的激光束经由所述上反射镜、所述下反射镜照射在所述位置探测器上。