发明名称 p型ドープされたシリコン層
摘要 The invention relates to a process for producing p-doped silicon layers, especially those silicon layers which are produced from liquid silane-containing formulations. The invention further relates to a substrate coated with a p-doped silicon layer. The invention additionally relates to the use of particular dopants based on boron compounds for p-doping of a silicon layer.
申请公布号 JP6099563(B2) 申请公布日期 2017.03.22
申请号 JP20130526397 申请日期 2011.08.19
申请人 エボニック デグサ ゲーエムベーハーEvonik Degussa GmbH 发明人 シュテファン ヴィーバー;マティアス パッツ;ハラルト シュテューガー;ヤスミン レームクール
分类号 H01L21/208;C01B33/02;H01L21/225;H01L31/068;H01L31/18 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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