一种高性能大尺寸氮化硅陶瓷材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种高性能大尺寸氮化硅陶瓷材料的制备方法，包括：（1）准备原料：氮化硅粉、氧化镁、氧化铝、稀土氧化物；（2）将原料混匀，得到氮化硅复合粉料浆；（3）对氮化硅复合粉浆料进行喷雾造粒，制得氮化硅造粒粉；（4）对氮化硅造粒粉进行冷等静压处理成型，制得氮化硅压坯；（5）将氮化硅压坯装入高温烧结炉，并埋入埋粉进行烧结，获得预烧结体；（6）将预烧结体装入气压烧结炉内进行气压烧结，获得氮化硅陶瓷材料。本发明仅用普通的高温烧结炉和气压烧结炉就能完成氮化硅陶瓷材料的高致密烧结，不仅制造成本远低于热压、热等静压烧结制品，效率高，轻松实现了制品的批量生产，而且可以生产形状复杂的制品。

主权项

一种高性能大尺寸氮化硅陶瓷材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）按下列重量比准备原料：氮化硅粉85～93%、氧化镁0.5～5%、氧化铝1～7%、稀土氧化物3～10%；（2）将原料混匀，得到氮化硅复合粉料浆；（3）采用闭环造粒方式对氮化硅复合粉浆料进行喷雾造粒，制得氮化硅造粒粉；（4）将淡化硅造粒粉倒入橡胶模具，然后进行100～300MPa冷等静压处理成型，制得氮化硅压坯；（5）将淡化硅压坯装入高温烧结炉，并埋入埋粉，然后于氮气气氛、氮气压力‑100～+100mbar、1500～1750℃条件下保温0.5～2小时进行烧结，获得预烧结体；（6）将预烧结体装入气压烧结炉内，然后于氮气气氛、氮气压力2～8Mpa、1750～1900℃条件下保温2～6小时进行气压烧结，获得氮化硅陶瓷材料。