一种钽酸锂晶体基片的黑化处理方法

摘要

一种钽酸锂晶体基片的黑化处理方法，在化学还原气氛中，将金属片与钽酸锂晶体基片之表面进行粗化后以接触方式交替堆叠，置于低于居里温度的环境中，对钽酸锂晶体基片进行还原处理，使钽酸锂晶体基片由白色或淡黄色转变为有色不透明化，依然保持其原有之压电材料特性。钽酸锂晶体基片经还原处理可降低其体电阻率，可改善声表面波滤波器（SAW filter）制造过程中因温度差异引起热释电效应产生的放电现象，并提高叉指电极线条于光刻工艺的精度，有助于提升SAW器件制作的成品率降低生产成本。

主权项

一种钽酸锂晶体基片的黑化处理方法，将金属片与钽酸锂晶体基片其中一项或者两项之表面进行粗化后，置于低于居里温度的还原性环境中，以接触方式交替堆叠，对钽酸锂晶体基片进行还原处理。