用于生物和化学分析的集成式传感器阵列

摘要

本发明涉及一种集成式传感器阵列。所述集成式传感器阵列包含：在电路支持基底中形成的多个传感器，每个传感器包含化学场效应晶体管，所述传感器以大于100个传感器/mm²的密度存在于大于256个传感器的平面阵列中，阵列中的每个传感器设置成提供与其附近的化学或生物样品的浓度或存在相关的至少一个输出信号，对于阵列中的每个传感器而言，响应于相同化学或生物样品的相同浓度或存在，这种输出信号是基本上相同的。

主权项

一种集成式传感器阵列，其包含：形成在多个传感器上的多个反应室，其中所述多个传感器形成在电路支持基底中，每个传感器包含化学场效应晶体管，所述传感器以大于100个传感器/mm²的密度存在于大于256个传感器的平面阵列中，所述阵列中的每个传感器设置成提供与其附近的化学或生物样品的浓度或存在相关的至少一个输出信号，对于阵列中的每个传感器而言，响应于相同化学或生物样品的相同浓度或存在，这种输出信号是基本上相同的，其中，所述化学场效应晶体管中的每个化学场效应晶体管是离子敏感场效应晶体管，所述离子敏感场效应晶体管具有浮动栅，所述浮动栅在其表面上具有电介质层，所述电介质层接触样品流体，且能与所述样品流体中的带电荷物质的浓度成比例地积累电荷，以及其中，所述多个反应室包括缓冲抑制剂包被。