基于太赫兹时域光谱的材料表面光洁度检测方法

摘要

基于太赫兹时域光谱的材料表面光洁度检测方法，属于太赫兹应用技术领域。本发明是为了解决现有的探针法不适用于带涂层的材料表面光洁度的检测的问题。本发明首先制作一系列标准试件，然后测量标准试件特定区域中多个点处的太赫兹时域反射信号，应用傅里叶变换得到频域谱；然后采用相关分析确定用于光洁度检测的最优频率点，求出多个点处的太赫兹数据特征的平均值，然后采用数据拟合的方法建立标准试件的光洁度检测模型；再测量待测试件多个点处的太赫兹时域光谱反射信号，应用傅里叶变换得到频域谱；最后选择最优频率处的太赫兹数据特征，并调用光洁度检测模型计算待测试件的光洁度值。本发明的检测方法具有无损、非接触和快速的优点。

主权项

基于太赫兹时域光谱的材料表面光洁度检测方法，其特征在于：具体步骤为：(1)建立标准试件的粗糙度检测模型：首先制作一系列不同光洁度的标准试件，然后测量每个标准试件特定区域中多个点处的太赫兹时域反射信号，应用傅里叶变换得到频域谱；然后采用相关分析确定用于光洁度检测的最优频率点，并将最优频率点处的太赫兹光谱幅度作为太赫兹数据特征，并求出多个点处的太赫兹数据特征的平均值，然后采用数据拟合的方法建立标准试件的光洁度检测模型；(2)计算待测试件的光洁度值：首先测量待测试件多个点处的太赫兹时域光谱反射信号，应用傅里叶变换得到频域谱；然后选择最优频率处的太赫兹数据特征，并调用步骤(1)建立的标准试件的光洁度检测模型计算待测试件的光洁度值。