积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统

摘要

本实用新型公开了一种积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统，包括均匀光源发生器、分束器，消像差透镜组、探测器与计算机系统。计算机系统利用光学成像法检测光纤排布精度或者胶合微透镜阵列后光纤阵列与微透镜阵列光轴的同轴精度，根据成像系统放大率以及探测器像元尺寸，计算排布精度，其检测精度可达好于0.1微米量级，完全满足IFU光纤阵列排布精度的要求。

主权项

积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统，其特征在于，包括：均匀光源发生器(3)，用于均匀照亮IFU微透镜端(1)或IFU狭缝端(7)的光纤阵列、微透镜阵列；分束器(2)，用于透射均匀光源发生器(3)的光，以及将被照亮的光纤阵列或微透镜阵列的光反射至成像系统；消像差透镜组，用于把光纤阵列或微透镜阵列成像到探测器(6)上；探测器(6)，用于接收光纤阵列或微透镜阵列的像；计算机系统，用于计算探测器(6)接收到的光纤阵列或微透镜阵列的像的质心位置，比较每根光纤质心位置坐标，确定光纤阵列排布精度；或比较每个微透镜质心位置坐标，确定微透镜排布精度。