| 摘要 |
【課題】マイクロ波を使った洗浄効果を高めることのできるマイクロ波洗浄方法及びマイクロ波洗浄装置を提供する。【解決手段】マイクロ波洗浄装置１は、マイクロ波を発生するマイクロ波発振器５０と、導体の洗浄対象物Ｗが浸漬される洗浄液２０を貯留する洗浄槽１０と、導体で形成されており洗浄対象物Ｗを把持するチャック機構３０と、マイクロ波発振器５０で発生したマイクロ波をチャック機構３０に伝送する同軸ケーブル６０と、チャック機構３０で把持された洗浄対象物Ｗを洗浄液２０から取り出すシリンダ７０とを備えている。そして、洗浄槽１０に貯留された洗浄液２０に洗浄対象物Ｗを浸漬した後、同軸ケーブル６０及びチャック機構３０を介して洗浄対象物Ｗにマイクロ波Ｍを伝送することにより洗浄液２０の液面にマイクロ波Ｍを印加するとともに、マイクロ波Ｍを印加しながら洗浄対象物Ｗを洗浄液２０の液面から取り出す。【選択図】図３ |
