摘要 |
【課題】リーク電流を抑制可能な半導体装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、第1〜第3半導体領域と、第1〜第3導電部と、を備えた半導体装置が提供される。第2半導体領域は、第1半導体領域と第1方向において離間して設けられている。第3半導体領域は、第1半導体領域と第2半導体領域との間に設けられる。第1導電部は、第1半導体領域と電気的に接続される、第2導電部は、第2半導体領域と電気的に接続される。第3導電部は、第1方向と交差する第2方向において、第3半導体領域と離間する。第3半導体領域は、非晶質の第1部分領域と、多結晶の第2部分領域と、を含む。第1部分領域は、第1金属を含む。第2部分領域は、第2方向において第1部分領域と積層されている。第2部分領域における第1金属の第1濃度は、第1部分領域における第1金属の第2濃度よりも低い、または、第2部分領域は、第1金属を含まない。【選択図】図1 |