基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置

摘要

基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置，涉及光子晶体。依次设有激光器、空间滤波器、光阑、凸透镜、多光束生成元件、光刻胶板；所述空间滤波器的出光口放置于凸透镜的焦点处，当激光器发出的激光经过空间滤波器扩束后，会变成一束发散光，发散光经过凸透镜时，会变成一束平行光，这束平行光沿着法线方向照射到多光束生成元件上，多光束生成元件对这束平行光的光路进行调整，使其产生多束相干光束，多束相干光束重叠在光刻胶板上，在光刻胶板上对多束光重叠的干涉区域进行单次曝光，经过显影即得可变周期光子晶体。

主权项

基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置，其特征在于依次设有激光器、空间滤波器、光阑、凸透镜、多光束生成元件、光刻胶板；所述空间滤波器的出光口放置于凸透镜的焦点处，当激光器发出的激光经过空间滤波器扩束后，会变成一束发散光，发散光经过凸透镜时，会变成一束平行光，这束平行光沿着法线方向照射到多光束生成元件上，多光束生成元件对这束平行光的光路进行调整，使其产生多束相干光束，多束相干光束重叠在光刻胶板上，在光刻胶板上对多束光重叠的干涉区域进行单次曝光，经过显影即得可变周期光子晶体。