| 摘要 |
【課題】ロールツーロールで搬送される長尺基板の搬送系の異常をタイムラグなく検知して運転を停止させることが可能な長尺基板処理装置の提供。【解決手段】真空チャンバー内で長尺基板を搬送する搬送手段と、長尺基板を外周面に巻き付けて冷却するキャンロールと、長尺基板を処理する処理手段とからなる真空成膜装置であって、キャンロールは周方向に全周に亘って複数のガス導入路が配設されており、これら複数のガス導入路の各々は外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、該外周面のうち長尺基板が巻き付けられる領域のガス導入路にのみガスを導入するガスロータリージョイント２０を備えており、ガスロータリージョイント２０はガス圧検出手段３３を有し、検出したガス圧が所定の条件を満たしたときに搬送手段と処理手段に停止信号を出力する長尺基板処理装置。【選択図】図８ |
