ノズル、洗浄装置及び洗浄方法

摘要

【課題】ノズルの経路内壁が削られることによって生ずる金属汚染が洗浄後の基板の洗浄面に発生することを抑制する。【解決手段】本発明の一態様は、基板にＣＯ２粒子を噴出させるノズル（１１）において、前記ノズルの内壁にはＨｖ１０００〜５０００のビッカース硬さを有する硬質膜が形成されていることを特徴とするノズル（１１）である。