| 摘要 |
Ein Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst einen Objekttisch, auf den ein Messobjekt gelegt wird, einen Messkopf, der eine Vorrichtung zum Erzielen von Informationen, die Informationen über das Objekt erzielt, aufweist, und einen senkrechten Antrieb, der den Messkopf trägt, um eine Bewegung in einer senkrechten Richtung zu ermöglichen. Der senkrechte Antrieb umfasst einen Ausgleichmechanismus, der eine Hängevorrichtung des Messkopfes aufweist, eine Riemenscheibe, die das Hängeelement durch Drehung aufwickelt und zurückzieht, eine Feder, welche eine elastische Kraft durch Dehnen der Feder verstärkt, wenn sich der Messkopf nach unten verlagert, und einen Nocken, der sich zusammen mit der Riemenscheibe dreht und eine Zunahme des Drehmoments der Riemenscheibe auf Grund der Zunahme der elastischen Kraft durch Dehnen der Feder unterbindet. |
