| 摘要 |
본 발명은 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템은, 기판을 처리하기 위해 기판 처리 설비에 구비되는 장비의 동작을 기 설정된 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 장비 에뮬레이션부; 상기 장비와 상기 장비를 제어하는 제어 장치 사이에서 상기 장비의 제어와 관련된 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 가상으로 구현하는 통신 장치 에뮬레이션부; 및 상기 장비 에뮬레이션부 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부와 데이터를 주고 받아, 상기 장비를 제어하기 위해 상기 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램에 의한 상기 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 시뮬레이션 실시부를 포함할 수 있다. |
