| 摘要 |
Ｆｅ−Ｐｔ合金と非磁性材料を主成分とする焼結体スパッタリングターゲットであって、非磁性材料として少なくともＣ（炭素）を含有し、さらに前記主成分以外に微量添加元素を５０質量ｐｐｍ〜５０００質量ｐｐｍの範囲で含有し、該微量添加元素の炭化物の炭素１ｍｏｌ当たりの標準生成自由エネルギーΔＧ°が、−５０００［ｃａｌ／ｍｏｌ］以下であることを特徴とする焼結体スパッタリングターゲット。本発明は、スパッタ時に発生するパーティクル量を大幅に低減させたＦｅ−Ｐｔ合金と非磁性材料を主成分とするスパッタリングターゲットを提供することを課題とする。【選択図】なし |
