| 发明名称 | 一种氮气干燥装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种氮气干燥装置，包括：加热腔体，所述加热腔体两端分别设置有密封块一、密封块二，所述加热腔体上侧设置有进气口，下侧设置有出气口，所述加热腔体内部设置有对称锥形喷头，所述对称锥形喷头之间设置有加热条。本实用新型结构简单、制造成本低廉、性能稳定、体积小，可实现氮气的快速加热与净化，特别适用于半导体制造工艺中。 | ||
| 申请公布号 | CN205965439U | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201620674404.3 | 申请日期 | 2016.06.30 |
| 申请人 | 重庆三零三科技有限公司 | 发明人 | 黄菊英 |
| 分类号 | B01D53/26(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种氮气干燥装置，其特征在于，包括：加热腔体，所述加热腔体两端分别设置有密封块一、密封块二，所述加热腔体上侧设置有进气口，下侧设置有出气口，所述加热腔体内部设置有对称锥形喷头，所述对称锥形喷头之间设置有加热条。 | ||
| 地址 | 402560 重庆市铜梁县巴街道办事处北环路川9号2幢4-1 | ||