一种垂直式HVPE生长设备用温场装置

摘要

一种垂直式HVPE生长设备用温场装置，包括反应器和加热器，该反应器下部套装在加热器内，加热器内设置有升降杆，该升降杆顶端安装有衬底支撑盘，升降杆上活动套装有隔热层，隔热层与衬底支撑盘之间设置有伸缩式连接器，该伸缩式连接器上端与升降杆上部连接，下端与隔热层连接，该隔热层由至少两层隔热层间隔设置构成，该升降杆升降运动的同时还能转动。本发明中，利用升降杆和伸缩式连接器，实现伸缩连接器与升降杆在加热器内所占的高度空间最小，减低设备制造高度，节约了成本，利用隔热层具有的多层隔热层结构，将隔热层区域的温场分为多个温度梯度带，增大恒温区范围，减少温区内部热量的散失，恒温区温场更加稳定。

主权项

一种垂直式HVPE生长设备用温场装置,包括反应器（1）和加热器（2）, 反应器（1）下部套装在加热器内（2），加热器（2）内设置有升降杆（4），升降杆（4）顶端安装有衬底支撑盘（3），其特征在于：所述的升降杆（4）上活动套装有隔热层（6）, 衬底支撑盘（3）与隔热层（6）之间设置有伸缩式连接器,该伸缩式连接器上端与升降杆（4）连接, 该伸缩式连接器下端与隔热层（6）连接。