| 发明名称 | 一种抽气泵的抽气系统及抽气泵 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种抽气泵的抽气系统及抽气泵，其中，一种抽气泵的抽气系统包括：第一真空管，所述第一真空管的一端与反应腔连接，另一端设置有一泄压阀，所述第一真空管上设置有一第一开关阀；第二真空管，所述第二真空管的一端连接于所述第一真空管；以及第三真空管，所述第三真空管的一端连接于所述第二真空管的另一端。当需要清理时，将所述第一开关阀和所述第二开关阀关闭，打开所述泄压阀，让空气进入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，无需停止抽气泵，也无需打开反应腔，减少了对所述抽气泵的损伤以及所述第三真空管和所述抽气泵连接处的磨损，提高了所述抽气泵的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN104863857B | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201510179466.7 | 申请日期 | 2015.04.15 |
| 申请人 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 发明人 | 辛笛;陆飞 |
| 分类号 | F04C25/02(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I;F04C28/24(2006.01)I | 主分类号 | F04C25/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种抽气泵的抽气系统，其特征在于，包括：第一真空管，所述第一真空管的一端与反应腔连接，另一端设置有一泄压阀，所述第一真空管上设置有一第一开关阀；第二真空管，所述第二真空管的一端连接于所述第一真空管，所述第二真空管与所述第一真空管的连接处与所述反应腔之间的距离，大于所述第一开关阀与所述反应腔之间的距离；以及第三真空管，所述第三真空管的一端连接于所述第二真空管的另一端，所述第三真空管的另一端连接于抽气泵的进气口，所述第三真空管上设置有一第二开关阀。 | ||
| 地址 | 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号 | ||