分析类金刚石膜对飞行器液压伺服作动器密封性能的方法

摘要

本发明公开了一种分析类金刚石膜对飞行器液压伺服作动器密封性能的方法，属于飞行器液压伺服作动器技术领域。申请人为了改善飞行器液压伺服作动器密封性能的不足，在分析作动器失效的基础上，通过大量实验得到该方法，通过多功能离子束沉积系统制备若干含银量不同的类金刚石膜，采用X射线衍射仪、能量色散谱仪、拉曼光谱、纳米压痕仪、三维白光干涉表面轮廓仪、高速往复式摩擦磨损实验机，分析各种类金刚石膜样品的微观结构和力学性能变化，系统阐述碳价键及内应力的变化对薄膜力学性能的影响，填补了理论和实践空白。

主权项

一种分析类金刚石膜对飞行器液压伺服作动器密封性能的方法，其特征在于，所述方法采用多功能离子束沉积系统制备若干含银量不同的类金刚石膜，采用X射线衍射仪、能量色散谱仪、拉曼光谱、纳米压痕仪、三维白光干涉表面轮廓仪和高速往复式摩擦磨损实验机，分析各种类金刚石膜样品的微观结构和力学性能变化，探究类金刚石膜对飞行器液压伺服作动器密封性能的影响机理。