| 摘要 |
알루미늄 합금제의 프레임체(10)를 갖고, 프레임체(10)의 표면(10a)에 펠리클막이 접착되고, 프레임체(10)의 이면에 유리 기판이 접착되는 펠리클용의 지지 프레임(1A)이다. 프레임체(10)의 표면(10a)에는 프레임체(10)의 주위 방향으로 연장되는 표측의 오목 홈(31 내지 33)이 형성됨과 함께, 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 표측의 오목 홈(31 내지 33)의 내면에 이르는 표측의 흡인 구멍(50)이 형성되어 있다. 이 구성에서는 펠리클막에 다른 부재를 압박하는 일 없이, 펠리클막을 프레임체(10)에 접착할 수 있다. |
