检查装置、安装装置及检查方法

摘要

通过简单的处理，高精度地对部件有无向基板搭载进行检查。一种检查装置(60)，其根据对部件向基板的搭载面搭载前后进行拍摄得到的部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载部件进行检查，该检查装置具备：阈值设定部(62)，其根据搭载前图像的亮度值，对能够识别基板的阈值进行设定；以及掩盖图像生成部(63)，其根据阈值生成从搭载前图像将除了基板以外掩盖的掩盖图像，该检查装置构成为通过使用掩盖图像对搭载前图像及搭载后图像的基板的相当于搭载面的特定区域进行比较，从而对有无搭载部件进行检查。

主权项

一种检查装置，其根据对部件向基板的搭载面搭载前后进行拍摄得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，该检查装置的特征在于，具备：阈值设定部，其根据所述搭载前图像的亮度值，对能够识别所述基板的阈值进行设定；以及掩盖图像生成部，其根据所述阈值生成从所述搭载前图像将除了所述基板以外掩盖的掩盖图像，该检查装置通过使用所述掩盖图像对所述搭载前图像及所述搭载后图像的所述基板的相当于所述搭载面的特定区域进行比较，从而对有无搭载所述部件进行检查。