| 摘要 |
밀봉 완료 기판이 열 변형함으로써 사전 정렬 시점으로부터 절단선의 위치가 어긋난 경우에 있어서도, 절단하기 직전에 절단선의 어긋남을 보정하여 절단한다. 트윈컷 테이블 방식의 절단 장치(1)에 있어서, 스핀들 유닛(10B)에 일체화하여 설치된 커프 체크용 카메라(13)에 의해, 밀봉 완료 기판(3)을 절단하기 직전에 정렬 마크를 촬상한다. 밀봉 완료 기판(3)이 절삭수나 냉각수의 영향에 의해 차가워져 수축된 상태에 있어서도, 촬상한 정렬 마크의 위치에 기초하여, 제어부(CTL)가 사전 정렬 시점에 설정한 절단선으로부터의 어긋남을 절단하기 직전에 보정한다. 보정한 절단선을 따라 밀봉 완료 기판(3)을 절단할 수 있다. |
