一种大轴向色差的线性色散物镜

摘要

本发明实施例提供了一种大轴向色差的线性色散物镜，包括整体为正焦光度的准直透镜组和整体为正焦光度的聚焦透镜组，准直透镜组和聚焦透镜组在光源针孔和被测物体之间沿光轴依次设置，准直透镜组靠近光源针孔侧，聚焦透镜组靠近被测物体侧。该物镜系统综合考虑了色散物镜的线性度与系统像差校正之间的平衡，准直透镜组和聚焦透镜组均为正透镜组，具备了先准直再聚焦的效果；准直透镜组包含了非球面镜片可以使线性色散物镜的轴向色散范围与系统焦距比大于0.2，整体减小了物镜尺寸，降低了加工难度，且使物镜具有极佳的线性度；增设的到达孔径光阑，可限制入射光线角度，防止色散物镜的结构变得复杂导致装调过程困难，且可以提高加工精度。

主权项

一种大轴向色差的线性色散物镜，其特征在于，包括整体为正焦光度的准直透镜组(G1)和整体为正焦光度的聚焦透镜组(G2)，所述准直透镜组(G1)和聚焦透镜组(G2)各自包含至少一个镜片；所述准直透镜组(G1)和聚焦透镜组(G2)在光源针孔和被测物体之间沿光轴依次设置，所述准直透镜组(G1)靠近光源针孔侧，所述聚焦透镜组(G2)靠近被测物体侧。