用于平面研磨设备的自动磨料供给装置及其供给方法

摘要

本发明公开了一种用于平面研磨设备的自动磨料供给装置，包括液体喷雾机构、旋转气流喷射磨料机构、散粉挡片和电脑分道调控气压系统；其中，液体喷雾机构用于向研磨加工区喷出雾状液体；旋转气流喷射磨料机构用于产生旋转气流，并裹带着磨料喷射到散粉挡片的中心；散粉挡片设置在液体喷雾机构喷射雾状液体的路径上，散粉挡片用于撞散由旋转气流喷射磨料机构喷射的磨料，使其散布在雾状液体中均匀地洒向研磨加工区；同时，液体喷雾机构的液体喷雾力度、旋转气流喷射磨料机构的磨料喷射力度及磨料供给量分别由电脑分道调控气压系统进行控制。上述装置能根据研磨状况精密控制磨料供给，同时实现在线清盘。本发明同时公开了相应的磨料供给方法。

主权项

一种用于平面研磨设备的自动磨料供给装置，其特征在于包括液体喷雾机构、旋转气流喷射磨料机构、散粉挡片和电脑分道调控气压系统；其中，所述液体喷雾机构用于向研磨加工区喷出雾状液体；所述旋转气流喷射磨料机构用于产生旋转气流，并裹带着磨料喷射到所述散粉挡片的中心；所述散粉挡片设置在所述液体喷雾机构喷射所述雾状液体的路径上，所述散粉挡片用于撞散由所述旋转气流喷射磨料机构喷射的磨料，使其散布在雾状液体中均匀地洒向研磨加工区；同时，所述液体喷雾机构的液体喷雾力度、所述旋转气流喷射磨料机构的磨料喷射力度及磨料供给量分别由所述电脑分道调控气压系统进行控制。