负型感光性树脂组合物、树脂固化膜、分隔壁以及光学元件

摘要

本发明提供具备如下特性的负型感光性树脂组合物：可以对固化膜、尤其是分隔壁的上表面赋予良好的拒墨性，并且，即便不对由分隔壁包围而成的开口部内进行UV/O₃照射处理，拒墨剂也不易残留，墨可以均匀地润湿扩展而不会产生不均。一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：具有光固化性的碱溶性树脂或者碱溶性单体(A)、光聚合引发剂(B)、具有氟原子的拒墨剂(C)和化合物(D)，所述化合物(D)为水解性硅烷化合物混合物的部分水解缩合物、且不含氟原子，所述水解性硅烷化合物混合物包含：具有巯基和水解性基团的水解性硅烷化合物、和/或具备具有烯属双键的基团和水解性基团的水解性硅烷化合物。

主权项

一种树脂固化膜，其特征在于，其为形成于基板上的树脂固化膜，在利用X射线光电子能谱法(XPS)进行的组成分析中，所述树脂固化膜的表面的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值[F/C]为0.1以上，在利用将Ar簇用于溅射离子的飞行时间型二次离子质谱法(TOF‑SIMS)的所述树脂固化膜的厚度方向的质谱中，Si₂O₅H^‑的强度轮廓图在所述树脂固化膜的除由下述(1)规定的表面区域之外的厚度范围中，在由下述(2)规定的与所述基板的界面区域具有强度的最大值，所述强度的最大值相对于除所述表面区域和所述界面区域之外的厚度范围内的强度的最小值的比值[Si₂O₅H^‑最大值/Si₂O₅H^‑最小值]超过1且在10以下，并且，在所述质谱中，所述树脂固化膜的除表面区域以及与所述基板的界面区域之外的厚度范围内的Si₂O₅H^‑的强度的平均值相对于C^‑的强度的平均值的比值[Si₂O₅H^‑平均值/C^‑平均值]为0.001以上，(1)所述树脂固化膜的表面区域是指，以所述树脂固化膜的表面为起点，从该表面向基板侧直至100nm位置为止的区域，(2)所述树脂固化膜的与所述基板的界面区域是指，在TOF‑SIMS的厚度方向的质谱中，以所述基板的主要成分或者特有成分的二次离子的强度的上升起始点处的距所述树脂固化膜表面的位置为起点，直至所述基板的主要成分或者特有成分的二次离子的强度的上升终止点处的距所述树脂固化膜表面的位置为止的区域。